slurry delivery arm structure for chemical-mechanical polishing machine,申请号KR20080016503U-传众专利搜索

发明名称	slurry delivery arm structure for chemical-mechanical polishing machine
摘要
申请公布号	KR200458009(Y1)	申请公布日期	2012.01.16
申请号	KR20080016503U	申请日期	2008.12.12
申请人		发明人
分类号	B24B37/00;B24B57/00;H01L21/304	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
主权项
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