发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG EINER OXIDSCHICHT AUF ABSORBERN VON SOLARZELLEN UND VERWENDUNG DES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 AT539178(T) 申请公布日期 2012.01.15
申请号 AT20070818560T 申请日期 2007.09.28
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SITTINGER, VOLKER;RUSKE, FLORIAN;SZYSZKA, BERND
分类号 C23C14/35;H01L31/0224;H01L31/18 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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