| 发明名称 |
QUARZGLASKÖRPER FÜR EIN OPTISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT540005(T) |
申请公布日期 |
2012.01.15 |
| 申请号 |
AT20000125181T |
申请日期 |
2000.11.18 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. |
发明人 |
YAMAGATA, SHIGERU |
| 分类号 |
C03C3/06;H01L21/027;C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;C03C4/00;G02B1/02;G03F7/20 |
主分类号 |
C03C3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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