| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MAGNETRON- SPUTTERBESCHICHTETER SUBSTRATE UND ANLAGE HIERFÜR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT538489(T) |
申请公布日期 |
2012.01.15 |
| 申请号 |
AT20030747792T |
申请日期 |
2003.10.15 |
| 申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH |
发明人 |
ZUEGER, OTHMAR |
| 分类号 |
H01J37/34;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/54 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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