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发明名称 SPALTACHSENSTUFENGESTALTUNG FÜR HALBLEITERANWENDUNGEN
摘要
申请公布号 AT540337(T) 申请公布日期 2012.01.15
申请号 AT20080719741T 申请日期 2008.03.17
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VERMEULEN, JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS;PEIJNENBURG, ANTONIUS T.A.
分类号 G03F7/20;B23Q1/62;H01L21/687 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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