METHOD FOR PRODUCING AN INTEGRATED MICROFLUIDIC SYSTEM AND INTEGRATED MICROFLUIDIC SYSTEM

摘要

Die Erfindung betrifft die Herstellung eines integrierten mikrofluidischen Systems und das integrierte mikrofluidische System selbst. Ein Elektronik- Substrat, insbesondere ein Halbleiterchip, wird in Flip - Chip -Anordnung mit einem mikrofluidischen Substrat verbunden. Hierzu werden die miteinander zu verbindenden fluidischen Anschlusselemente der beiden Substrate mit einem ersten Klebemittel und die elektrischen Kontakte der beiden Substrate mit einem zweiten Klebemittel verbunden. Die Klebemittel werden ausgehärtet, wobei das zweite Klebemittel zuerst aushärtet.