发明名称 Verfahren zur Herstellung eines integrierten mikrofluidischen Systems und integriertes mikrofluidisches System
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren eines integrierten mikrofluidischen Systems (1), mindestens umfassend ein mikrofluidisches Substrat (2) und ein Elektronik-Substrat (3), insbesondere einen Halbleiterchip, wobei das mikrofluidische Substrat (2) und das Elektronik-Substrat (3) jeweils mindestens ein fluidisches Anschlusselement (2a, 3a) und mindestens ein elektrisches Anschlusselement (2b, 3b), auf einer Verbindungsoberfläche aufweisen, mittels einer Flip-Chip-Verbindung, dadurch gekennzeichnet, dass es folgende Schritte umfasst: A) Aufbringen eines fluidisch abdichtenden Klebemittels (5) zur Herstellung einer fluidischen Kontaktierung auf die Verbindungsoberfläche des mikrofluidischen Substrats (2) und/oder des Elektronik-Substrats (3); B) Aufbringen eines zweiten Klebemittels (6) zur elektrischen Verbindung auf die Verbindungsoberfläche des mikrofluidischen Substrats (2) und/oder des Elektronik-Substrats (3), wobei das zweite Klebemittel (6) vom ersten Klebemittel (5) verschieden ist, C) Aufsetzen und Andrücken des Elektronik-Substrats (3) mit seiner Verbindungsoberfläche auf die Verbindungsoberfläche des mikrofluidischen Substrats (2) mit einem definierten Anpressdruck, wobei jeweils die fluidischen Anschlusselemente (2a, 3a) und elektrischen Anschlusselemente (2b, 3b) zur fluidischen und elektrischen Kontaktierung mindestens teilweise überlappend angeordnet sind und D) Aushärten des ersten und des zweiten Klebemittels (5, 6), wobei das zweite Klebemittel (6), insbesondere unter dem in Schritt C) ausgeübten definierten Anpressdruck, zuerst aushärtet. Die Erfindung betrifft außerdem ein erfindungsgemäßes integriertes mikrofluidischen System (1) und die Verwendung eines solchen erfindungsgemäßen integrierten mikrofluidischen Systems (1).
申请公布号 DE102010031103(A1) 申请公布日期 2012.01.12
申请号 DE201010031103 申请日期 2010.07.08
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SCHAAF, ULRICH;HOFFMANN, JANA;SUNDERMEIER, FRIEDER;MAY, JOHANNA
分类号 B81C3/00;B01L3/00;B81B7/00 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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