| 主权项 |
一种电浆处理方法，系设定处理装置之运作条件，于上述处理装置所具备之气密性处理容器内产生电浆而对被处理体进行电浆处理时，根据上述处理装置所设置之计测器所计测出之计测资料，藉由多变量分析而做成模型；或根据该模型来监控电浆处理之相关资讯，或藉由该模型对应电浆处理之相关资讯之变化，以变更电浆处理之运作条件的电浆处理方法；其特征系具有设定第1运作条件进行电浆处理时，由上述计测器取得第1计测资料之步骤，和根据上述第1计测资料藉由多变量分析，做成第1模型之步骤，和设定第2运作条件进行电浆处理时，由上述计测器取得第2计测资料之步骤，和根据上述第2计测资料藉由多变量分析，做成第2模型之步骤，和设定第3运作条件进行电浆处理时，由上述计测器取得第3计测资料之步骤，和将上述第3计测资料，作为以上述第1计测资料与上述第2计测资料分别乘算权系数并相加所得之加权计测资料，而求出上述权系数之步骤，和藉由对上述第1模型与上述第2模型分别乘算上述权系数并相加，而求出第3运作条件下之第3模型的步骤。一种电浆处理方法，系设定处理装置之运作条件，于上述处理装置所具备之气密性处理容器内产生电浆而对被处理体进行电浆处理时，根据上述处理装置所设置之计测器所计测出之计测资料，藉由多变量分析而做成模型；或根据该模型来监控电浆处理之相关资讯，或藉由该模型对应电浆处理之相关资讯之变化，以变更电浆处理之运作条件的电浆处理方法；其特征系具有接连设定不同之复数之运作条件进行电浆处理，藉由各运作条件下之电浆处理而自上述计测器取得计测资料之步骤，和根据上述各计测资料藉由多变量分析，以做成各模型之步骤，和设定新运作条件进行电浆处理时，自上述计测器取得新计测资料之步骤，和藉由将上述新计测资料，作为于上述各计测资料乘算权系数并相加之加权计测资料，来求出上述权系数之步骤，和藉由对上述各模型乘算上述权系数并相加，而求出新运作条件下之模型的步骤。如申请专利范围第2项所记载之电浆处理方法，其中，上述运作条件，系由复数之参数构成，上述不同之复数之运作条件，系由作为基准之运作条件，和由此基准之运作条件中仅变更1个参数之1以上的运作条件，所构成，新运作条件，系对基准运作条件变换最少1个参数值者，而该参数系最少为上述不同之复数之运作条件中被变更之参数。如申请专利范围第3项所记载之电浆处理方法，其中，欲变更之上述运作条件之参数，系由上述处理容器内所设置用以产生电浆之电极其被供给之高频电力、上述处理容器内之压力、为了施加电浆处理而供给至上述处理容器内之复数种之处理气体的流量比、用以冷却上述被处理体而供给至上述被处理体之背面的背侧气体压力，等等之中所选择之1个以上的参数。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可预测上述处理结果。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可判定或预测电浆处理之异常。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可推定电浆处理异常之发生原因。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；将由上述相关关系系数所做成之相关关系式，作为用以修正电浆处理之变动的基准资料。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述多变量分析，系由部分最小平方法进行。如申请专利范围第1项至第4项之任一项所记载之电浆处理方法，其中，上述多变量分析，系由主成分分析法进行。一种电浆处理装置，系设定运作条件，于气密性处理容器内产生电浆而对被处理体进行电浆处理时，根据计测器所计测出之计测资料，藉由多变量分析而做成模型；或根据该模型来监控电浆处理之相关资讯，或藉由该模型对应电浆处理之相关资讯之变化，以变更电浆处理之运作条件的电浆处理装置；其特征系具有设定第1运作条件进行电浆处理时，由上述计测器记忆第1计测资料之手段，和将根据上述第1计测资料，藉由多变量分析所做成之第1模型，加以记忆之手段，和设定第2运作条件进行电浆处理时，由上述计测器记忆第2计测资料之手段，和将根据上述第2计测资料，藉由多变量分析所做成之第2模型，加以记忆之手段，和设定第3运作条件进行电浆处理时，由上述计测器记忆第3计测资料之手段，和将上述第3计测资料，作为以上述第1计测资料与上述第2计测资料分别乘算权系数并相加所得之加权计测资料，而求出上述权系数之手段，和藉由对上述第1模型与上述第2模型分别乘算上述权系数并相加，而求出第3运作条件下之第3模型的手段。一种电浆处理装置，系设定运作条件，于气密性处理容器内产生电浆而对被处理体进行电浆处理时，根据计测器所计测出之计测资料，藉由多变量分析而做成模型；或根据该模型来监控电浆处理之相关资讯，或藉由该模型对应电浆处理之相关资讯之变化，以变更电浆处理之运作条件的电浆处理装置；其特征系具有将藉由设定不同之复数之运作条件而进行之电浆处理，而自上述计测器取得各计测资料，加以记忆之手段，和将根据上述各计测资料，藉由多变量分析而做成各模型，加以记忆之手段，和设定新运作条件进行电浆处理时，自上述计测器记忆新计测资料之手段，和藉由将上述新计测资料，作为于上述各计测资料乘算权系数并相加之加权计测资料，来求出上述权系数之手段，和藉由对上述各模型乘算上述权系数并相加，而求出新运作条件下之模型的手段。如申请专利范围第12项所记载之电浆处理装置，其中，上述运作条件，系由复数之参数构成，上述不同之复数之运作条件，系由作为基准之运作条件，和由此基准之运作条件中仅变更1个参数之1以上的运作条件，所构成，新运作条件，系对基准运作条件变换最少1个参数值者，而该参数系最少为上述不同之复数之运作条件中被变更之参数。如申请专利范围第13项所记载之电浆处理装置，其中，欲变更之上述运作条件之参数，系由上述处理容器内所设置用以产生电浆之电极其被供给之高频电力、上述处理容器内之压力、为了施加电浆处理而供给至上述处理容器内之复数种之上述处理气体的流量比、用以冷却上述被处理体而供给至上述被处理体之背面的背侧气体压力，等等之中所选择之1个以上的参数。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可预测上述处理结果。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可判定或预测电浆处理之异常。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；根据由上述相关关系系数所做成之相关关系式，可推定电浆处理异常之发生原因。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述模型，系上述计测资料，和上述电浆处理中处理结果资料之相关关系系数；将由上述相关关系系数所做成之相关关系式，作为用以修正电浆处理之变动的基准资料。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述多变量分析，系由部分最小平方法进行。如申请专利范围第11项至第14项之任一项所记载之电浆处理装置，其中，上述多变量分析，系由主成分分析法进行。 |
