顶针盖结构

主权项

一种顶针盖结构，其系应用于具有晶粒之晶圆，该顶针盖结构包含有：一盖体，其顶面具有至少一孔，该盖体的顶面进一步具有一晶粒顶出区，该盖体相对于该晶粒顶出区，该盖体更进一步具有至少一长边与至少一短边，该长边除以该短边的比值大于1.5。如申请专利范围第1项所述之顶针盖结构，其中该盖体的顶面进一步具有至少一气道，该气道与该孔相通。如申请专利范围第1项所述之顶针盖结构，其中该盖体的形状为多边形。如申请专利范围第2项所述之顶针盖结构，其中该盖体的形状为椭圆形、长方形、菱形、六边形或八边形之其中一者。如申请专利范围第1项所述之顶针盖结构，其中该晶圆为8或12寸之晶圆之其中一者，该晶粒的宽度小于2 mm，该晶粒的长度大于25 mm。