| 主权项 |
一种用于一显影机台之液体回收装置，其中该显影机台包含一液体施配装置及一输送装置，该输送装置系将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施之液体，均布于该基板之一表面上，该液体回收装置包含：一液体容器；一驱动装置，其系装设于该液体容器之一侧，用以带动该液体容器至一第一位置，承接该所配施之液体；一液体回收槽；以及一导流装置，该导流装置设于该液体容器及该液体回收槽之间。如请求项1所述之液体回收装置，另包含一感应装置，与该驱动装置电性连接，用以感应基板通过该涂布区域，该感应装置具有：一第一感应器；以及一第二感应器，系沿该基板之运送方向，与该第一感应器相对设置，其中该第一感应器与该第二感应器所界定之一区间包含该涂布区域，当该基板之一前缘通过该第一感应器而进入该涂布区域时，该第一感应器将提供一讯号予该驱动装置，使该驱动装置将该液体容器朝远离该第一位置之一第二位置带动；当该基板离开该涂布区域且其一后缘通过该第二感应器时，该第二感应器将提供一讯号予该驱动装置，使该驱动装置将该液体容器朝趋近该第一位置带动，以承接由该液体施配装置所流出之液体。如请求项2所述之液体回收装置，其中该第一感应器与该第二感应器所界定之一区间系该涂布区域。如请求项1所述之液体回收装置，其中该导流装置用以将该液体容器内之液体导引至该液体回收槽。如请求项4所述之液体回收装置，其中该导流装置包含一导流管，连通于该液体容器及该液体回收槽之间。如请求项4所述之液体回收装置，其中该导流装置包含一导流板，自该液体回收槽内向该液体容器延伸。如请求项1所述之液体回收装置，其中该驱动装置包含一伺服马达。如请求项1所述之液体回收装置，其中该驱动装置包含一油压装置。如请求项1所述之液体回收装置，其中该驱动装置包含一气动装置。如请求项2所述之液体回收装置，其中该感应装置包含一光电感应器。如请求项2所述之液体回收装置，其中该感应装置包含一机械式感应器。如请求项1所述之液体回收装置，其中该液体容器处于该第一位置时，系实质上与该液体施配装置共同界定一密闭空间。如请求项2所述之液体回收装置，其中该第二位置位于该输送装置之上方。如请求项2所述之液体回收装置，其中当该第二位置位于该输送装置之下方。一种显影机台，包含：一液体施配装置，用以配施液体；一输送装置，用以将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施之液体均布于该基板之一表面上；以及一液体回收装置，包含：一液体容器；以及一驱动装置，其系装设于该液体容器之一侧，用以带动该液体容器至一位置，承接该所配施之液体。 |
