发明名称 贴合机工作平台对位机构
摘要
申请公布号 TWM420825 申请公布日期 2012.01.11
申请号 TW100215087 申请日期 2011.08.12
申请人 钧腾科技有限公司 发明人 郑舜衍;杨崇一
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 杜孟真 台北市大安区忠孝东路4段325号12楼之1
主权项 一种贴合机工作平台对位机构,其包括:一支架,其顶面设有一上平台,而该上平台中央设有一定位轴座,其四角则分别设有套孔;一升降马达,系设于支架底部,该升降马达上方设有一螺杆,该螺杆之上端系对应设于上平台之定位轴座;一活动板,系设于支架与上平台间,于其中央设有与螺杆对应之具内螺牙之套轴,其四角则设有对应上平台其套孔之滑杆;一上活动板,系于上平台上方并与滑杆之上端连接,并于其四角设有座台;四对位滑动器,系设于上活动板其座台上,该对位滑动器包含有二下滑轨、二下滑座、一上滑轨及一上滑座,其中,二下滑轨系设于座台上,而下滑轨上设于具滑槽之下滑座,该下滑座上则垂直跨设有上滑轨,上滑轨另垂直设有一具滑槽之上滑座;至少四转盘,系设于上滑座外侧上方;至少三位移马达,系呈二平行及至少一垂直设于上活动板,其前端设有至少与三对位滑动器其上滑轨及二下滑座连接之螺杆;一工作平台,系设于对位滑动器其上滑座之转盘。如申请专利范围第1项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,支架系呈U形状。如申请专利范围第1项或第2项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,升降马达系为步进马达。如申请专利范围第1项或第2项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,位移马达系为步进马达。如申请专利范围第3项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,位移马达系为步进马达。如申请专利范围第1项或第2项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,转盘系呈圆盘形状。如申请专利范围第3项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,转盘系呈圆盘形状。如申请专利范围第4项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,转盘系呈圆盘形状。如申请专利范围第5项所述之贴合机工作平台对位机构,其中,转盘系呈圆盘形状。
地址 台北市大同区民生西路177号2楼之6