分析多层材料中元素成分和厚度

摘要

一种方法和计算机程序软件产品，用于对覆盖在基底上的材料层堆中的一层建立元素组成的表面密度。偶然的渗透放射在与一个或多个元素中的每个相关联的多线路(lines)中激发特有的X射线荧光放射。连续层的表面密度通过与连续元素的特有荧光线路的强度比率相关的等式的自洽(self-consistent)解决方案来确定。

主权项

一种方法，用于在包括不同成分的多层材料的整个多层结构中检验多层，所述方法包括：利用渗透放射照射所述多层结构；检测从所述多层中散发的荧光放射；确定在第一层中的第一元素的第一和第二线路特征中每个上的荧光强度；基于在所述第一和第二特有荧光线路的能量上的吸收的已知函数相关性，分别解决所述第一层的表面密度和由于覆盖所述第一层的层的吸收；以及确定在所述第一层下方的第二层中的第二元素的第三和第四线路特征中每个上的荧光强度；计算所述第三和第四线路的强度的强度比率；以及将计算出的强度比率与期望比率进行比较，所述期望比率通过由于所述第一层和覆盖所述第一层的层而导致的所述第三和第四线路的强度的衰减确定。