| 发明名称 | 用于太阳能电池的等离子体织构化装置 | ||
| 摘要 | 一种用于太阳能电池的等离子体织构化装置包括：基座，具有啮合突出部，当在阴极上方使晶片对准以用于等离子体织构化时，所述啮合突出部用于防止安装在基座内的晶片向外滑动或来回移动；聚焦环，当进行等离子体织构化工序时，聚焦环用于约束等离子体；以及夹具，该夹具以具有向下的斜面的方式放置于聚焦环的内表面上，并且具有连接至聚焦环的一端以及背对该端的另一端，夹具形成尖角并用于挤压和支撑晶片的周边部分。 | ||
| 申请公布号 | CN102315070A | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN201010516616.6 | 申请日期 | 2010.10.18 |
| 申请人 | 森美材料有限公司 | 发明人 | 朴根周;金容甲;金基洪;朴健 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王艳春 |
| 主权项 | 一种用于太阳能电池的等离子体织构化装置，包括：基座，具有啮合突出部，当在阴极上方使晶片对准以用于等离子体织构化时，所述啮合突出部用于防止安装在所述基座内的晶片向外滑动或来回移动；聚焦环，当进行等离子体织构化工序时，所述聚焦环用于约束等离子体；以及夹具，所述夹具以具有向下的斜面的方式放置于所述聚焦环的内表面上，并且具有连接至所述聚焦环的一端以及背对所述端的另一端，所述夹具形成尖角并用于挤压和支撑所述晶片的周边部分。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||