用于形成太阳能电池的选择性发射器的方法和设备

摘要

本发明公开了用于形成太阳能电池的选择性发射器的方法和设备。根据本发明一个实施例的用于形成太阳能电池的选择性发射器的设备包括：传送装置，用来传送在其上表面上形成有第一发射器层的衬底，第一发射器层中扩散并形成有n型杂质；载物台，从传送装置向其提供衬底并且支撑被提供的衬底；预加热装置，用来对载物台所支撑的衬底进行预加热；激光辐射装置，位于载物台的上方与载物台分隔开，并且用来在一部分的第一发射器层上辐射激光以形成其中进一步扩散并形成有n型杂质的第二发射器层。

主权项

一种用于形成太阳能电池的选择性发射器的设备，包括：传送装置，用来传送衬底，该衬底的上表面上形成有第一发射器层，该第一发射器层中扩散并形成有n型杂质；载物台，从传送装置向该载物台提供衬底并且该载物台支撑所提供的衬底；预加热装置，用来对载物台所支撑的衬底进行预加热；激光辐射装置，位于载物台的上方与载物台分隔开，并且用来在一部分的第一发射器层上辐射激光以形成第二发射器层，该第二发射器层中进一步扩散并形成有n型杂质。