| 发明名称 | 一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液及其腐蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液，含以下体积百分含量的组分：NH4F水溶液40-43% HF水溶液8-10% H2O248-52%。该腐蚀液具有很强的腐蚀效果，且腐蚀速率稳定，能够实现对硅片表面的硅浆进行腐蚀的目的，且腐蚀液配制方便，重复性强；同时还公开了利用上述腐蚀液对硅浆进行腐蚀的方法，该方法工艺简单，反应过程容易控制，成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN102312239A | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN201110242347.3 | 申请日期 | 2011.08.23 |
| 申请人 | 晶澳太阳能有限公司;晶澳（合肥）新能源有限公司 | 发明人 | 严金梅;杨伟强;王松 |
| 分类号 | C23F1/24(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人 | 李海波 |
| 主权项 | 一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液，其特征是含以下体积百分含量的组分：NH4F水溶液 40‑43% HF水溶液 8‑10% H2O2水溶液48‑52%。 | ||
| 地址 | 055550 河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号 | ||