发明名称 |
夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法 |
摘要 |
本发明提供夹持装置、输送装置、处理装置和电子设备的制造方法。夹持装置具有夹持部,所述夹持部包括:第一夹持板,具有与被处理物的周向边缘抵接的第一夹持件;以及第二夹持板,具有与所述周向边缘抵接的第二夹持件,并且所述夹持部使所述第一夹持板和所述第二夹持板中的至少一个移动,以使所述第一夹持件和所述第二夹持件彼此接近或离开。夹持装置还包括:升降部,使所述夹持部升降;以及动作控制部,控制由所述夹持部进行的开闭动作和由所述升降部进行的升降动作。而且,所述动作控制部以机械方式依次控制第一升降动作、所述开闭动作和第二升降动作,所述第二升降动作与所述第一升降动作的升降方向相同。 |
申请公布号 |
CN102310410A |
申请公布日期 |
2012.01.11 |
申请号 |
CN201110184412.1 |
申请日期 |
2011.06.29 |
申请人 |
芝浦机械电子株式会社 |
发明人 |
古矢正明 |
分类号 |
B25J15/00(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
B25J15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
李雪春;武玉琴 |
主权项 |
一种夹持装置,使夹持板进行开闭动作来夹持被处理物的周向边缘,所述夹持装置的特征在于包括:夹持部,所述夹持部包括:第一夹持板,具有与所述周向边缘抵接的第一夹持件;以及第二夹持板,具有与所述周向边缘抵接的第二夹持件,并且所述夹持部使所述第一夹持板和所述第二夹持板中的至少一个移动,以使所述第一夹持件和所述第二夹持件彼此接近或离开;升降部,使所述夹持部升降;以及动作控制部,控制由所述夹持部进行的开闭动作和由所述升降部进行的升降动作,所述动作控制部以机械方式依次控制第一升降动作、所述开闭动作和第二升降动作,所述第二升降动作与所述第一升降动作的升降方向相同。 |
地址 |
日本神奈川县 |