硅单结晶拉升用石英玻璃坩埚及硅单结晶的制造方法

摘要

本发明提供一种硅单结晶拉升用石英玻璃坩埚及使用该石英玻璃坩埚的硅单结晶的制造方法，其不会发生散布地产生于内表面的结晶化物质的剥离，且不会如在将结晶层形成在内表面全面时结晶层的一部分略微剥离而形成气体释出孔，熔解硅亦不会从因略微剥离而产生的气体释出孔进入结晶层与其下的玻璃层之间，由此可获得高的成品率。本发明的石英玻璃坩埚在内表面具有结晶化促进剂含有层，在进行硅单结晶的拉升时，通过结晶化促进剂在内表面形成有斑状的结晶化区域。

主权项

一种石英玻璃坩埚，用于拉升硅单结晶，其特征在于，在其内表面具有结晶化促进剂含有层，在进行硅单结晶的拉升时，通过结晶化促进剂在内表面形成有斑状的结晶化区域。