划线单元、板子划线装置、划线方法和基底制造方法

摘要

本发明提供了一种用于执行划线过程的划线单元，在该划线过程中，将单元基底从形成有所述单元基底的板子中分离出来。所述划线单元包括兆声振动器，所述兆声振动器向轮子施加兆声振动从而使所述单元基底的断裂面平滑。因此，就能在清洁已分离出来的所述单元基底之前省略打磨所述单元基底的断裂面边缘的过程。

主权项

一种用于切割工件的划线单元，所述划线单元包括：与所述工件接触从而在所述工件的表面中形成裂纹的划线器；被构造成用于支撑所述划线器的支撑件；以及被构造成用于向所述划线器提供振动的振动器，其中所述划线器包括可旋转的轮子，并且所述支撑件还包括本体和轴销，所述轴销与所述本体结合并插入到在所述轮子上形成的通孔中，从而可旋转地支撑所述轮子，其中所述振动器被设置在所述本体内，其中所述划线单元还包括加压部件，所述加压部件被设置在所述支撑件上方并且被构造成用于使用气动压力向所述支撑件施加压力。