发明名称 |
用于检查印制电路结构的传感器、装置和方法以及传感器的加工方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于检查在平面载体(130)上构成的印制电路结构(131)的传感器。该传感器(250)包括基底(251),它这样机械地形成结构,使它具有凸起的上部位(260)和凹下的下部位(280),其中平面的上部位(260)与凹下的下部位(280)通过优选台阶形的过渡部位(27)相互连接。该传感器(250)还包括多个在平面的上部位(260)上构成的传感器电极(261)和多个用于电接通多个传感器电极(261)的连接导线(471)。在此对每个传感器电极(261)都附设连接导线(471),它从各传感器电极(261)一直延伸到凹下的下部位(280)。本发明还涉及用于检查印制电路结构(131)的装置以及方法。此外给出一种用于上述传感器的加工方法。 |
申请公布号 |
CN101432632B |
申请公布日期 |
2012.01.11 |
申请号 |
CN200780015665.8 |
申请日期 |
2007.11.13 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
H·克劳斯曼;K·克拉格勒 |
分类号 |
G01R31/312(2006.01)I;G09G3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/312(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
曹若;梁冰 |
主权项 |
用于检查在平面载体(130)上构成的印制电路结构(131)的传感器,所述传感器(150,250,350,450,550,650)具有·基底(251,451,551,651),它这样机械地形成结构,使它具有凸起的上部位(260,360,460,560,660)和凹下的下部位(280,380,480,580,680),其中凸起的上部位(260,360,460,560,660)与凹下的下部位(280,380,480,580,680)通过过渡部位(270,370,470,570,670)相互连接,·多个传感器电极(261,461,561),它们在凸起的上部位(260,360,460,560,660)上构成,·多个连接导线(471)用于使多个传感器电极(261,461,561)电接通,其中对每个传感器电极(261,461,561)都附设连接导线(471),上述连接导线从各个传感器电极(261,461,561)一直延伸到凹下的下部位(280,380,480,580,680)。 |
地址 |
德国慕尼黑 |