发明名称 透射电镜微栅及其制备方法
摘要 本发明涉及一种透射电镜微栅,包括一载体,该载体包括至少一个通孔,其中,所述透射电镜微栅进一步包括一覆盖在所述载体的石墨烯层-碳纳米管膜复合结构,该石墨烯层-碳纳米管膜复合结构包括一个石墨烯层和至少一层碳纳米管膜状结构,该碳纳米管膜状结构具有多个微孔,所述石墨烯层覆盖所述多个微孔并通过该多个微孔部分悬空。本发明还涉及一种透射电镜微栅的制备方法。
申请公布号 CN102315058A 申请公布日期 2012.01.11
申请号 CN201010219817.X 申请日期 2010.07.07
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 林晓阳;冯辰;张丽娜;姜开利
分类号 H01J9/00(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I 主分类号 H01J9/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种透射电镜微栅,包括一载体,该载体包括至少一个通孔,其特征在于:所述透射电镜微栅进一步包括一覆盖所述载体通孔的石墨烯层‑碳纳米管膜复合结构,该石墨烯层‑碳纳米管膜复合结构包括一个石墨烯层和至少一层碳纳米管膜状结构,该碳纳米管膜状结构具有多个微孔,所述石墨烯层覆盖所述多个微孔并通过该多个微孔部分悬空。
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室