快速温度程序(RTP)加热系统及方法

摘要

一种快速温度程序(RTP)加热系统及方法，主要是用以对一光伏组件中间产品加热，该光伏组件中间产品具有一玻璃基板、一层钼(Mo)层以及成形中的一层光吸收层，该加热系统包含有：一腔室；一承台，位于该腔室内且用以对该光伏组件中间产品的下表面进行加热；至少一加热组件，设置于该腔室内，系发出红外线来加热，并且红外线有大部分会被该钼层所反射，而减少直接对该玻璃基板的加热；多个温度传感器以及一控温装置，用以感测并控制该加热组件以及该承台所发出的热源。因此，在加热方法上，可分别对该光伏组件中间产品的上表面以及下表面进行不同温度的加热，使得位于该光伏组件中间产品下方的玻璃基板不会软化变形，上方的钼层上又能制造光吸收层。

主权项

一种快速温度程序(RTP)加热系统，用以对一光伏组件中间产品加热，该光伏组件中间产品具有一玻璃基板、涂布于该玻璃基板上的一层钼(Mo)层以及成形中的一层光吸收层，其特征在于，该加热系统包含有：一腔室，内部用以置放一该光伏组件中间产品；一承台，具有良好导热性及高比热且位于该腔室内的下方，用以承接该光伏组件中间产品，并对该光伏组件中间产品的下表面进行导热；至少一加热组件，设置于该腔室内的上方，向下发出红外线来对该光伏组件中间产品的上表面进行加热；该加热组件所发出的红外线是限定于预定的波长，因此有大部分会被该钼层所反射，减少直接对该玻璃基板的加热，而主要对成形中的光吸收层加热；多个温度传感器，设于该腔室内，用以感测该光伏组件中间产品的上表面以及下表面的温度；以及一控温装置，连接于该等温度传感器、该加热组件以及该承台，用以控制该加热组件以及该承台所发出的热源。