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发明名称
摘要
申请公布号
JP4852991(B2)
申请公布日期
2012.01.11
申请号
JP20050334762
申请日期
2005.11.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L25/00
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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