成膜装置

摘要

本发明涉及成膜装置。提供能够减少可传送到对准机构的振动和变形并由此抑制在表面方向上的基板和掩模之间的不对准的成膜装置。所述成膜装置包括：成膜室；对准机构支撑部件；和设置在对准机构支撑部件上的对准机构，其中：对准机构支撑部件包含用于放置对准机构的支撑板、和腿部；支撑板被设置为借助于腿部与成膜室的顶板分开；并且，支撑板的至少一部分由能够将传送到支撑板的振动转换成热能而由此抑制振动的阻尼材料形成。

主权项

一种成膜装置，包括：成膜室，在所述成膜室中具有基板支撑部件和掩模支撑部件；对准机构支撑部件，被设置在所述成膜室外部；和对准机构，所述对准机构被设置在对准机构支撑部件上，并且，所述对准机构具有用于基板支撑部件的位置调整单元和用于掩模支撑部件的位置调整单元中的至少一个以及用于对准的照相机，其中：对准机构支撑部件包含支撑板和腿部，所述支撑板用于放置对准机构；支撑板被设置为借助于腿部而与成膜室的顶板分开；以及支撑板的至少一部分由阻尼材料形成，所述阻尼材料能够将传送到支撑板的振动转换成热能而由此抑制振动。