探测装置以及探测方法

摘要

本发明提供一种探测装置以及探测方法，能够使装置小型化并实现高生产率。在晶片卡盘和探针卡之间的高度位置能够沿水平方向移动的校准桥上设置有各自的光轴相互分离并且用于对晶片表面进行摄像的视野向下的晶片摄像用的微型照相机(71、72)，所以，能够减少当为了得到晶片的位置信息对晶片进行摄像时晶片卡盘的移动量。因此，能够实现装置的小型化，此外，因为还能够缩短取得晶片位置信息所需要的时间，所以能够实现高生产率。而且，以相互能够接合分离的方式设置微型照相机(71、72)，能够进行调整以使其离开距离成为晶片上的两个特定点的相互离开距离，所以能够使晶片卡盘保持静止对另一个特定点进行摄像从而能够进一步提高生产率。

主权项

一种探测装置，该探测装置将排列配置有多个被检查芯片的晶片载置在通过载置台用的驱动部能够沿着水平方向以及铅直方向自由移动的晶片载置台上，使所述被检查芯片的电极片与探针卡的探测器接触来对被检查芯片进行检查，该探测装置的特征在于，包括：设置在所述晶片载置台上，用于对所述探测器进行摄像的视野向上的探测器摄像用的摄像单元；在所述晶片载置台和探针卡之间的高度位置设置为能够沿着水平方向移动的移动体；设置在该移动体上，其各自的光轴相互隔开，用于对晶片表面进行摄像的视野向下的晶片摄像用的第一摄像单元以及第二摄像单元；和执行步骤组的控制单元，其中，所述步骤组包括以下步骤：通过使晶片载置台移动来依次对探测器摄像用的摄像单元的焦点和晶片摄像用的第一摄像单元的焦点以及第二摄像单元的焦点的位置进行配合，取得各时刻的晶片载置台的位置的步骤；通过使晶片载置台移动来利用所述晶片摄像用的第一摄像单元以及第二摄像单元依次对载置台上的晶片进行摄像，取得各摄像时的晶片载置台的位置的步骤；利用探测器摄像用的摄像单元对探测器进行摄像，取得摄像时的晶片载置台的位置的步骤；和根据在各步骤中取得的晶片载置台的位置计算用于使晶片与探测器接触的晶片载置台的位置的步骤。