一种取像装置与方法

摘要

本发明公开了一种取像装置，用以对待测物进行扫描，此取像装置通过于显微物镜组上方设置第二分光组件，以将工作光束分成第一子光束与第二子光束，并分别利用单色图像感测装置与彩色图像感测装置接收第一子光束与第二子光束，藉以获得单色干涉图像与不具干涉条纹的单色或彩色图像，除此之外，本发明亦公开一种取像方法，藉由上述的取像装置获得单色干涉图像与不具干涉条纹的单色或彩色图像，进而可针对待测物做瑕疵检测或得到彩色平面清晰图像与彩色立体轮廓图像。

主权项

一种取像装置，用以对一待测物进行扫描，其特征在于，该取像装置包含：一光源，用以发射一照射光束；一第一分光组件，用以反射该照射光束；一显微物镜组，设置于该待测物的上方，包含一反射参考面，并用以将该照射光束调制成一量测光束与一参考光束，该量测光束投射至该待测物的表面，并产生反射至该显微物镜组的第一反射光束，该参考光束投射至该反射参考面，并产生反射至该显微物镜组的第二反射光束，且该第一反射光束与该第二反射光束合成一穿透该第一分光组件的工作光束；一第二分光组件，设置于该第一分光组件的上方，用以将该工作光束分成一第一子光束与一第二子光束；一单色图像感测装置，设置于该第一子光束的行进路线上，以接收该第一子光束，并在该第一子光束的一第一干涉区域内，撷取一单色干涉图像；以及一图像感测装置，设置于该第二子光束的行进路线上，以接收该第二子光束，并在该第二子光束的一第二干涉区域外，撷取一无干涉图像。