发明名称 显微镜自聚焦装置及相配的自聚焦用光阑
摘要 本发明涉及用于显微镜(40)的三角形自聚焦装置(21)中的自聚焦用光阑(5,6),其中孔径光阑(5,6)包含至少一个膜片孔(3,4),利用该膜片孔可将用于自聚焦并沿自聚焦装置(21)光轴(18)方向伸展的测量束锥(34)限制在其截面内,其中自聚焦用光阑(5,6)的膜片孔(3,4)被安置在离该自聚焦装置(21)光轴(18)有一定距离的偏心位置,其中偏心的自聚焦测量束(36)通过在测量束锥(34)的一半截面(17)内的膜片孔(3,4)产生。
申请公布号 CN102313976A 申请公布日期 2012.01.11
申请号 CN201110170597.0 申请日期 2011.06.23
申请人 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 发明人 R·克鲁格
分类号 G02B21/24(2006.01)I;G02B7/30(2006.01)I 主分类号 G02B21/24(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 蔡民军;胡强
主权项 用于显微镜(40)的三角形自聚焦装置(21)中的自聚焦用光阑(5,6),其中自聚焦用光阑(5,6)包含至少一个膜片孔(3,4),利用该膜片孔可将用于自聚焦并沿自聚焦装置(21)的光轴(18)方向伸展的测量束锥(34)限制在其截面内,其特征在于:该自聚焦用光阑(5,6)的膜片孔(3,4)被安置在离该自聚焦装置(21)的光轴(18)有一定距离的偏心位置,其中偏心的自聚焦测量束(36)通过在测量束锥(34)的一半截面(17)内的膜片孔(3,4)产生。
地址 德国韦茨拉尔