SURFACE INSPECTION APPAATUS AND SURFACE INSPECTION HEAD DEVICE,申请号EP20070743192-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SURFACE INSPECTION APPAATUS AND SURFACE INSPECTION HEAD DEVICE
摘要
申请公布号	EP2019310(A4)	申请公布日期	2012.01.11
申请号	EP20070743192	申请日期	2007.05.11
申请人	KIRIN TECHNO-SYSTEM COMPANY, LIMITED;KTS OPTICS CORPORATION	发明人	FUKAMI, YUKIKO;MORI, HIDEO
分类号	G01N21/954	主分类号	G01N21/954
代理机构		代理人
主权项
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