一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构

摘要

本发明公开了一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其由飞秒双光子激光器、光渐变衰减器、滤波凸透镜、针孔滤波器、截取光阑、准直透镜、孔径光阑、超分辨衍射器和油浸物镜组成，飞秒双光子激光器至光敏树脂之间以光轴线对中顺次布置有光渐变衰减器、滤波凸透镜、针孔滤波器、截取光阑、准直透镜、孔径光阑、超分辨衍射器、油浸物镜。超分辨衍射器安装在油浸物镜上。本发明光路结构通过超分辨衍射器件改变了飞秒激光在焦点局域空间内的功率分布，使得旁瓣的光强大于双光子聚合的功率阈值，实现双光子微纳加工中的多点加工。

主权项

一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征在于：所述的光路结构由飞秒双光子激光器(1)、光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波器(4)、截取光阑(5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)和油浸物镜(9)组成，飞秒双光子激光器(1)至光敏树脂(10)之间以光轴线对中顺次布置有光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波器(4)、截取光阑(5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)、油浸物镜(9)，超分辨衍射器(8)安装在油浸物镜(9)上；超分辨衍射器件(8)是在一基板(81)上采用二元光学加工方法加工出具有A凹槽(82)、B凹槽(83)的一光学器件；基板(81)的半径r4＝1～5mm，A凹槽(82)的半径r1＝0.2r4，A凹槽(82)与B凹槽(83)的壁厚r2＝r1＝0.2r4，B凹槽(83)的宽度r3＝0.20～0.3r4。