| 发明名称 | 正型光阻剂 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种正型光阻剂，其包含树脂、添加剂和溶剂。其中，该正型光阻剂的溶剂包含至少两种具有不同沸点的溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN101271271B | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN200710087883.4 | 申请日期 | 2007.03.21 |
| 申请人 | 新应材股份有限公司 | 发明人 | 郭光埌;盐田英和;蔡哲辉;杨宗穆 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 宋莉;贾静环 |
| 主权项 | 一种正型光阻剂，其包含酚醛清漆树脂、添加剂和溶剂，其中酚醛清漆树脂的分子量低于10000，该溶剂包含至少两种具有不同沸点的溶剂，其中该二种不同沸点的溶剂差异大于或等于10℃，且该溶剂占该正型光阻剂的重量百分比介于82％到90％之间。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||