一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置

摘要

本实用新型公开了一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置，该等离子体发生装置在放电腔室(5)的顶部设有三根铈钨阴极(2)，在放电腔室(5)的顶部设有与工作气体源连接的气体源接口(3)，在放电腔室(5)的底部设有绝缘层(7)，在绝缘层(7)下设有水冷铜板(10)，绝缘层-水冷铜板交错叠加5-8次，各绝缘层(7)和水冷铜板(10)的中心孔连通构成放电通道(15)，设有拉瓦尔喷嘴(17)的阳极(9)安装在最下面绝缘层(16)的下方，阳极(9)直接接地，三根水冷钨阴极(2)与直流电源连接。本实用新型不仅能保证产生高密度等离子体，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护方便、使用寿命长等优点，特别适合进行快速薄膜沉积使用。

主权项

一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置，包括放电腔室(5)、阴极(2)和阳极(9)，阳极(9)接地，阴极(2)与直流电源连接，其特征在于：阴极(2)为钨阴极，共三根，插装在放电腔室(5)的顶部，其尖端部分位于放电腔室(5)中，每两根钨阴极(2)之间的夹角为120°，在放电腔室(5)的顶部中央设有惰性气体源接口(3)，在放电腔室(5)的底部设有绝缘层(7)，在绝缘层(7)下设有水冷铜板(10)，绝缘层‑水冷铜板交错叠加5‑8次，各绝缘层(7)和水冷铜板(10)的中心孔连通构成放电通道(15)，设有拉瓦尔喷嘴(16)的阳极(9)安装在最下面绝缘层(7)的下方。