发明名称 |
封装结构及其制造方法 |
摘要 |
一种封装结构及其制造方法。封装结构的制造方法包括以下步骤。提供一封胶件及一芯片。封胶件具有一第一表面及一第二表面。芯片埋入于封胶件。芯片的一主动表面暴露于第一表面。形成一第一重布线路层于第一表面。蚀刻封胶件及第一重布线路层,以形成一封胶通孔及一线路通孔。于封胶通孔及线路通孔形成一导电柱。形成一第二重布线路层于第二表面。导电柱电性连接第一重布线路层及第二重布线路层。 |
申请公布号 |
CN102315136A |
申请公布日期 |
2012.01.11 |
申请号 |
CN201110161548.0 |
申请日期 |
2011.06.02 |
申请人 |
日月光半导体制造股份有限公司 |
发明人 |
陈勇仁;丁一权;陈家庆;林津华 |
分类号 |
H01L21/56(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陆勍 |
主权项 |
一种封装结构的制造方法,包括:提供一封胶件及一芯片,该封胶件具有一第一表面及一第二表面,该芯片埋入于该封胶件,该芯片的一主动表面暴露于该第一表面;形成一第一重布线路层于该第一表面;蚀刻该封胶件及该第一重布线路层,以形成一封胶通孔及一线路通孔;于该封胶通孔及该线路通孔形成一导电柱;以及形成一第二重布线路层于该第二表面,该导电柱电性连接该第一重布线路层及该第二重布线路层。 |
地址 |
中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号 |