发明名称 | 电介质的金属化 | ||
摘要 | 揭示了一种组合物和方法。该组合物同时对介电材料进行调整和活化,以用于金属沉积。可通过无电沉积法将金属沉积在电介质上。所述金属化的电介质可用于电子器件。 | ||
申请公布号 | CN1982503B | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
申请号 | CN200610168424.4 | 申请日期 | 2006.12.05 |
申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | F·斯卡拉格林诺;W·萨默;N·D·布朗;K·王 |
分类号 | C23C18/31(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/31(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 郭辉 |
主权项 | 一种组合物,该组合物包含一种或多种铈(IV)离子源、一种或多种银(I)离子源和一种或多种氢离子源;所述铈(IV)离子源提供5‑100g/L的铈(IV)离子,所述银(I)离子源提供1‑20g/L的银(I)离子。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |