发明名称 电介质的金属化
摘要 揭示了一种组合物和方法。该组合物同时对介电材料进行调整和活化,以用于金属沉积。可通过无电沉积法将金属沉积在电介质上。所述金属化的电介质可用于电子器件。
申请公布号 CN1982503B 申请公布日期 2012.01.11
申请号 CN200610168424.4 申请日期 2006.12.05
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 F·斯卡拉格林诺;W·萨默;N·D·布朗;K·王
分类号 C23C18/31(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I;C23C28/02(2006.01)I 主分类号 C23C18/31(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 郭辉
主权项 一种组合物,该组合物包含一种或多种铈(IV)离子源、一种或多种银(I)离子源和一种或多种氢离子源;所述铈(IV)离子源提供5‑100g/L的铈(IV)离子,所述银(I)离子源提供1‑20g/L的银(I)离子。
地址 美国马萨诸塞州