磁光电流传感器及其制造方法

摘要

本发明揭示了一种磁光电流传感器及其制造方法，采用模块化的器件结构，包括沿光路方向依次排列设置的光纤输入模块、光纤输入矫正模块、磁光晶体模块、光纤输出模块及光纤输出矫正模块，其中光纤输入矫正模块与光纤输入模块的偏振分束器相关联，并与光线输入模块一并输出至磁光晶体模块，磁光晶体模块的输出相连到光纤输出模块的偏振分束器，且光纤输出矫正模块与光纤输出模块的偏振分束器相关联。本发明通过模块化设计对光纤输入和光纤输出进行双重矫正，解决了因光学系统抖动或温度漂移等原因引起的噪声，并且采用缓冲层增强了永磁薄膜与衬底之间的附着力，从而提高永磁薄膜的磁学性质，使得偏振光的旋转角更大，测量精度更高。

主权项

磁光电流传感器，其特征在于：采用模块化的器件结构，包括沿光路方向依次排列设置的光纤输入模块、光纤输入矫正模块、磁光晶体模块、光纤输出模块及光纤输出矫正模块，其中所述磁光晶体模块包括石榴石及其上沿光路方向依次生长形成的缓冲层、永磁薄膜及保护层，所述光纤输入矫正模块包括相串联的光纤准直器、保偏输入光纤及光强探测器，所述光纤输出矫正模块包括相串联的光纤准直器、保偏输出光纤及光强探测器；所述光纤输入矫正模块与光纤输入模块的偏振分束器相关联，并与光纤输入模块一并输出至磁光晶体模块，所述磁光晶体模块的输出相连到光纤输出模块的偏振分束器，且所述光纤输出矫正模块与所述光纤输出模块的偏振分束器相关联。