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发明名称
METHOD FOR DETERMINING PROCESS LAYER CONFORMALITY
摘要
申请公布号
EP1393365(B1)
申请公布日期
2012.01.11
申请号
EP20020774099
申请日期
2002.04.02
申请人
GLOBALFOUNDRIES, INC.
发明人
WRIGHT, MARILYN, I.
分类号
H01L21/66;G01B11/06;G01N21/956
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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