发明名称 Ion beam stabilization
摘要 Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods provide high ion beam stability.
申请公布号 US8093563(B2) 申请公布日期 2012.01.10
申请号 US20090548764 申请日期 2009.08.27
申请人 RAHMAN FHM-FARIDUR;FARKAS, III LOUIS S.;NOTTE, IV JOHN A.;CARL ZEISS NTS, LLC 发明人 RAHMAN FHM-FARIDUR;FARKAS, III LOUIS S.;NOTTE, IV JOHN A.
分类号 H01J3/14 主分类号 H01J3/14
代理机构 代理人
主权项
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