发明名称 PATTERNING METHOD
摘要 <p>To provide a pattern forming method, which contains: providing an active species-supplying source to a pattern formable body; and applying excitation light to the active species-supplying source to form an oxide film on a surface of the pattern formable body.</p>
申请公布号 KR20120003456(A) 申请公布日期 2012.01.10
申请号 KR20117024424 申请日期 2010.02.17
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 WAKAMATSU SATOSHI;YAMASHITA NORIKO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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