发明名称 Device for adjusting gap of roll brush
摘要
申请公布号 KR101103827(B1) 申请公布日期 2012.01.06
申请号 KR20050129495 申请日期 2005.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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