发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN REVETEMENT DE SURFACE CONTROLE TRIDIMENSIONNELLEMENT DANS UNE CAVITE
摘要
申请公布号 FR2953991(B1) 申请公布日期 2012.01.06
申请号 FR20090005975 申请日期 2009.12.10
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 WACQUEZ ROMAIN;CONSTANCIAS CHRISTOPHE;CORONEL PHILIPPE
分类号 H01L21/56;B05D3/06;B05D7/22;B32B27/16 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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