| 摘要 |
Betrachtungsfelder eines Elektronenmikroskopbildes und eines optischen Vergrößerungsbetrachtungsbildes werden reibungslos umgeschaltet. Eine Vergrößerungsbetrachtungsvorrichtung umfasst: Ein Paar Stirnseitenplatten, die Stirnseiten eines Körperabschnitts abschließen; eine Elektronenstrahlbildgebungsvorrichtung, die an einer ersten Position einer zylindrisch geformten äußeren Oberfläche des Körperabschnitts angebracht ist; eine optische Bildgebungsvorrichtung, die an einer zweiten Position angebracht ist, die von der ersten Position in der äußeren Oberfläche abweicht; eine Rotationsvorrichtung, die beide Bildgebungsvorrichtungen entlang der äußeren Oberfläche derart rotiert, dass ein Abstand von jeder der beiden Bildgebungsvorrichtungen zu einer gemeinsamen Rotationsachse beider Bildgebungsvorrichtungen konstant gehalten wird und optische Achsen beider Bildgebungsvorrichtungen in Richtung der Rotationsachse ausgerichtet sind; einen Probentisch, der in der Kammer angeordnet ist und an einer Position angeordnet ist, welche im Wesentlichen dieselbe Höhe der Rotationsachse aufweist.
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