大型高真空抽气机组

摘要

本发明适用于抽真空领域，本发明采用牵引分子泵、电弧钛泵、粗抽泵和前级泵组成新的抽气机组，优势互补，实现取代现有的扩散泵+罗茨泵+粗抽泵组成的抽气机组的目的，与现有的抽气机组相比较，本发明可节省抽气能耗60～90％，消除真空室的油蒸汽污染，显著提高真空产品的质量，本发明的性价比约为传统高真空抽气机组的2～3倍，本发明的抽气机组的钛材蒸散速率可以精确控制，钛材利用率高，钛材可以回收，本发明的粗抽泵的运行时间很短，一台粗抽泵可以供多个高真空抽气机组共用，节省设备费用和占地空间。

主权项

一种大型高真空抽气机组，包括真空室，所述真空室连接有粗抽泵，其特征在于：所述真空室还分别连接有牵引分子泵和电弧钛泵，所述真空室通过一低真空阀与所述粗抽泵相连，所述真空室通过一半固定的百叶窗式气体捕集板与所述电弧钛泵相连，所述真空室通过一高真空阀与所述牵引分子泵相连，所述牵引分子泵经一低真空阀与一低抽速的前级泵相连，所述电弧钛泵包括若干台电弧蒸发源、弧光放电电源、百叶窗式气体捕集板和侧壁气体捕集板，所述电弧蒸发源采用闭环控制，由所述真空室的压强控制电弧蒸发源的蒸散速率；所述电弧蒸发源的阴极靶与低压弧光放电电源的负极相连；所述真空室的壳体接地，作为低压弧光放电电源的阳极；所述百叶窗式气体捕集板和侧壁气体捕集板采用平板或瓦楞板半固定在所述真空室壳体的内壁。