| 主权项 |
一种带有可双向推拉的梳齿单元的射频微机械开关，其特征在于，包括衬底（1）、共面波导传输线和驱动部件；所述的共面波导传输线包括信号线（2）和位于信号线（2）左右两侧的左地线（3）和右地线（4），信号线（2）分别与左地线（3）和右地线（4）之间留有间隙；信号线（2）包括呈纵向布置的上端口（21）和下端口（22），以及处于悬空状态的菱形细长梁（23）；左地线（3）、右地线（4）、上端口（21）和下端口（22）分别固定连接在衬底（1）上；菱形细长梁（23）的上端部（231）和上端口（21）相对，并且上端部（231）和上端口（21）之间有间隙，菱形细长梁（23）的下端部（232）和下端口（22）相对，并且下端部（232）和下端口（22）之间有间隙，菱形细长梁（23）的左端部（233）和左地线（3）相对，并且左端部（233）和左地线（3）之间有间隙，菱形细长梁（23）的右端部（234）和右地线（4）相对，并且右端部（234）和右地线（4）之间有间隙；所述的驱动部件包括处于悬空状态的四组梳齿结构（6），以及固定连接在衬底（1）上并且位于菱形细长梁（23）内部的中心锚区（5）和四个侧锚区（7）；四个侧锚区（7）分布在中心锚区（5）的四周；每组梳齿结构（6）分布在相邻的两个侧锚区（7）之间，每组梳齿结构（6）包括设有固定梳齿的第一固定梳齿单元（61）和第二固定梳齿单元（63）、设有移动梳齿的移动梳齿单元（62）、弹性梁（64）；在每组梳齿结构（6）中，第一固定梳齿单元（61）和第二固定梳齿单元（63）分别固定连接在相邻的两个侧锚区（7）相对的侧壁上，移动梳齿单元（62）固定连接在弹性梁（64）上，并且第一固定梳齿单元（61）的固定梳齿、移动梳齿单元（62）中的移动梳齿、第二固定梳齿单元（63）的固定梳齿顺序重复分布；弹性梁（64）的底端固定连接在中心锚区（5）上，弹性梁（64）的顶端固定连接在菱形细长梁（23）的端部，并且在弹性梁（64）的底端和移动梳齿单元（62）之间设置有弹性结构（641）；移动梳齿单元（62）的移动可以使菱形细长梁（23）上端部（231）和上端口（21）贴合、下端部（232）和下端口（22）贴合、左端部（233）和左地线（3）分离、右端部（234）和右地线（4）分离，或者使菱形细长梁（23）的上端部（231）和上端口（21）分离、下端部（232）和下端口（22）分离、左端部（233）和左地线（3）贴合、右端部（234）和右地线（4）贴合。 |
