多束微加工系统和方法

摘要

一种把能量传送到基片的系统包括可动态定向辐射能量源，用于提供每一个沿着可动态选择方向传播的数个辐射束。数个束导引单元当中的可独立定位束导引单元起接收辐射束和把它们引向基片上的可选位置的作用。

主权项

一种把能量传送到基片的系统，包括：至少一个可动态定向辐射能量源，用于提供每一个沿着可动态选择方向传播的数个辐射束；和数个可独立定位束导引单元，所述束导引单元的一些接收所述数个辐射束和把它们引向所述基片上的可选位置，其中，所述至少一个可动态定向辐射能量源包括分束器，用于接收辐射能量束和把所述激光束分解成可选个子束，其中，所述分束器起把所述子束引向可选方向的作用，并且包括其操作受控制信号支配的声光偏转器，其中，所述声光偏转器包括受所述控制信号控制的声波发生器，所述声波发生器生成决定所述子束的个数的声波。