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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION CAPABLE OF PREVENTING CONTAMINATION AND ENHANCING FILM GROWTH RATE
摘要
申请公布号 EP1454346(B1) 申请公布日期 2012.01.04
申请号 EP20020788864 申请日期 2002.10.04
申请人 BYUN, CHUL SOO 发明人 BYUN, CHUI SOO
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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