一种永磁电磁相结合的磁悬浮直线运动平台

摘要

本发明公开了一种永磁、电磁相结合的磁悬浮直线运动平台，悬浮体内垂直安装有电磁铁，导轨面上设有阵列永磁铁，利用电磁与永磁之间同极相斥的原理实现悬浮体的悬浮，同时结合电涡流位移传感器，实现悬浮体在导轨上方的稳定悬浮；悬浮体内水平安装有两对电磁铁，结合电涡流传感器为平台的直线运动提供导向；直线电机定子固定在基座上，直线电机动子固定在悬浮体上，导轨面上设有光栅尺，悬浮体上安装的光栅尺读数头，实现悬浮体精密直线定位运动。本发明可以实现使用旋转伺服电机驱动、精密滚珠丝杆传动和滑动导轨支撑的传统方案所无法实现的超洁净、高速度、大行程、精密定位运动等功能，具有很好的承载特性和稳定的悬浮性能。

主权项

一种永磁电磁相结合的磁悬浮直线运动平台，包括基座和悬浮体，其特征在于：直线导轨固定安装在所述的基座上，所述的悬浮体悬浮于所述的直线导轨的上方，所述的直线导轨上与所述的悬浮体相对的导轨面上均匀设置有阵列的永磁铁，在所述的悬浮体的竖直方向上和在所述的悬浮体上的沿所述的直线导轨的相对侧面方向上均设有与所述的永磁铁对应排斥的电磁铁；所述的悬浮体上设有用于检测所述的悬浮体各方向运动状态的涡流位移传感器；直线电机的定子沿所述的直线导轨的运动方向固定在所述的基座上，所述的直线电机的动子固定在所述的悬浮体上，在所述的悬浮体和所述的导轨上设有实时测量所述的悬浮体沿所述的直线导轨水平方向的位置的光栅尺及光栅尺读数头。