| 发明名称 | 一种四氟化碳的纯化方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种四氟化碳的纯化方法，其包括如下步骤：1)将含有H2、O2、N2、C2F6、CO2、CO、SF6、C3F8、H2O杂质的四氟化碳气体充入闪蒸塔中，闪蒸塔内的温度冷却至-180～-130℃，压强降至1×104Pa以下抽真空除去一部分杂质；2)将闪蒸塔内的温度升至-128～-90℃，在压强为0.1～1.0Mpa下进行闪蒸，将四氟化碳从闪蒸塔中蒸出，蒸出来的四氟化碳中残留有总含量在5ppm以下的部分杂质；3)将气体在1.0～5.0Mpa条件下通过吸附器，除去残留杂质得到高纯度四氟化碳；本发明的有益效果是：操作简便，得到的四氟化碳纯度高，设备投入少，特别适用于中小规模的精细化工生产需要。 | ||
| 申请公布号 | CN101863734B | 申请公布日期 | 2012.01.04 |
| 申请号 | CN201010205744.9 | 申请日期 | 2010.06.22 |
| 申请人 | 石平湘 | 发明人 | 桂思祥;李忠灿;唐忠福;石平湘 |
| 分类号 | C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I;C07C17/389(2006.01)I | 主分类号 | C07C19/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人 | 齐永红;黄爽英 |
| 主权项 | 一种四氟化碳的纯化方法，其特征是：其包括如下步骤：（1） 将含有H2、O2、N2、C2F6、CO2、CO、SF6、C3F8、H2O杂质的四氟化碳气体充入闪蒸塔中，所述杂质的体积百分含量为：0.20％～0.50％H2，2.0％～3.0％O2，8.0％～10％N2，2.5％～4.0％C2F6，100～300ppmCO2，1.0％～1.5％CO，0.05％～0.08％SF6、0.20％～0.70％C3F8，30～80ppmH2O，闪蒸塔内的温度冷却至－180～－130℃，压强降至1X104pa以下抽真空以使H2、O2、N2和CO在CF4中的总含量降至5ppm以下；（2） 步骤（1）处理后，将闪蒸塔内的温度升至－128～－90℃，在压强为0.1～1.0Mpa下进行闪蒸，将CF4从闪蒸塔中蒸出，蒸出来的CF4中残留有总含量在5ppm以下的SF6、C2F6、C3F8、H2O和CO2；（3） 步骤（2）处理后的气体在1.0～5.0Mpa条件下通过装有分子筛的吸附器，除去残留杂质得到纯化的四氟化碳，装在所述吸附器中的分子筛按质量百分比包括：5A型分子筛50％和13X型分子筛50％。 | ||
| 地址 | 528000 广东省佛山市南海区里水镇和顺金逢路文头岭东侧 | ||