| 发明名称 | 薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且获得薄板状材料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及具有该气动工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台(14)具有上面板(18)、多孔质膜(20)、和网状部件(22)；其中，所述上面板(18)形成有多个用于对玻璃基板(12)的下表面供给气体的给气孔(16)；所述多孔质膜(20)设置在所述上面板(18)之下并与该上面板(18)相接触；所述网状部件(22)设置成从下方支撑所述多孔质膜(20)。 | ||
| 申请公布号 | CN101121466B | 申请公布日期 | 2012.01.04 |
| 申请号 | CN200710100817.6 | 申请日期 | 2007.04.18 |
| 申请人 | 株式会社日本设计工业;芝浦机械电子装置股份有限公司 | 发明人 | 名仓成之;滨中亮明;弓场说治;鸟山典之;小栗勤;牧野勉;福田丈二;广濑治道 |
| 分类号 | B65G51/03(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;H01J9/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | B65G51/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于：具有上面板、多孔质膜及网状部件，其中，所述上面板形成有多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述多孔质膜设置在该上面板之下并与该上面板相接触；所述网状部件设置成从下方支撑该多孔质膜。 | ||
| 地址 | 日本静冈县 | ||