微机电系统压电双晶片的制备方法

摘要

一种MEMS技术领域的微机电系统压电双晶片的制备方法，包括：使用微加工工艺制备压电双晶片基片；在已制备的基片上、下表面，使用提拉法制备PZT薄膜；在已制备的压电双晶片上下两面镀金或银电极；使用激光修整压电双晶片；极化上下两层压电薄膜。本发明制备MEMS压电双晶片的方法，具有制备简单、成本低，并集成MEMS制造工艺等特点，有利于MEMS压电器件的制作及应用。

主权项

一种微机电系统压电双晶片的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：第一步、使用微加工工艺制备压电双晶片基片；第二步、在已制备的基片上表面和下表面，使用提拉法制备PZT薄膜；第三步、使用激光修整压电双晶片；第四步、在已制备的压电双晶片上下两面镀金或银电极；第五步，极化上下两层压电薄膜。