TFT阵列检查方法以及TFT阵列检查装置

摘要

本发明涉及一种TFT阵列检查方法以及TFT阵列检查装置。在用于驱动像素的驱动模式中，使用在一个栅极周期内将施加于像素的电压仅设为正电压或负电压中的一种电压，并在一个周期内使像素保持正电压或负电压中的一种电压的驱动模式来驱动TFT阵列。通过使用该驱动模式使像素在一个栅极周期中的电压保持时间内保持正电压或负电压中的一种电压。由此，能够删除不利于缺陷检测的电压保持时间，因此能够消除对在不利于该缺陷检查的电压保持时间内进行检测的像素电压产生的影响，从而能够提高缺陷检测率。

主权项

一种TFT基板的检查方法，对TFT基板的TFT阵列施加电压，对通过电子束的照射而获得的二次电子进行检测，从而检查TFT阵列的缺陷，该TFT基板的检查方法的特征在于，将用于扫描TFT阵列的所有像素的时间宽度设为一帧，在包含多个上述帧的一个栅极周期内，作为用于驱动像素的驱动模式，具有以下电压模式：在上述多个帧内的时间上的第一帧的初始期间将电压设为正电压和负电压中的某一种电压，之后，在上述第一帧的剩余期间以及第二帧之后的帧内使上述电压进行正负反转，使用上述电压模式来对TFT阵列的像素施加上述第一帧的初始期间的正电压和负电压中的某一种电压，之后，在上述一个栅极周期的整个时间宽度内保持对上述像素施加的电压。