液体原料气化器及使用其的成膜装置

摘要

本发明提供一种液体原料气化器，具有气化部，所述气化部具备：导入口，其从液体原料供给部导入液滴状的液体原料；有底筒状的外壳主体，其在所述导入口侧具有开口端；柱状块体，其具有将所述外壳主体的开口端封闭的凸缘部，并且以相对于所述外壳主体的内侧表面留出间隙的状态嵌入；具有透气性的雾滴捕捉构件，其在形成于所述外壳主体的内侧表面与所述柱状块体的外侧表面之间的气化流路内，按照与所述内侧表面密合，并且将所述外侧表面覆盖的方式设置；加热部，其按照将所述外壳主体覆盖的方式设置；喷出孔，其按照与所述导入口连通，并从所述柱状块体的导入口侧的端面向侧面贯穿的方式形成，将所述液体原料向所述雾滴捕捉构件的内侧表面喷出；送出口，其设于所述外壳主体的底部，将气化而生成的原料气体向外部送出。

主权项

一种液体原料气化器，具备将液体原料变为液滴状并喷出的液体原料供给部、使该液滴状的液体原料气化而生成原料气体的气化部，其特征在于，上述气化部具备：导入口，其从上述液体原料供给部导入液滴状的液体原料；有底筒状的外壳主体，其在上述导入口侧具有开口端；柱状块体，其具有将上述外壳主体的开口端封闭的凸缘部，并且以相对于上述外壳主体的内侧表面留出成为气化流路的间隙的状态嵌入；具有透气性的雾滴捕捉构件，其在形成于上述外壳主体的内侧表面与上述柱状块体的外侧表面之间的气化流路内，按照与上述外壳主体的内侧表面密合，并且将上述柱状块体的外侧表面覆盖的方式设置；加热部，其按照将上述外壳主体覆盖的方式设置，隔着上述外壳主体对上述雾滴捕捉构件加热；喷出孔，其按照与上述导入口连通，并且从上述柱状块体的导入口侧的端面向侧面贯穿的方式形成，将从上述导入口导入的上述液滴状的液体原料向上述雾滴捕捉构件的内侧表面喷出；及送出口，其设于上述外壳主体的底部，将由上述气化流路内的上述雾滴捕捉构件气化而生成的原料气体向外部送出。