带电粒子束装置

摘要

本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。

主权项

一种带电粒子束装置，包括：带电粒子源；带电粒子光学系统，其包括透镜，会聚从带电粒子源放出的一次带电粒子束而在样品上进行扫描；检测器，其检测通过上述一次带电粒子束的扫描而从样品产生的信号粒子；以及控制部，其控制上述透镜，该带电粒子束装置利用上述检测单元的信号取得样品图像，该带电粒子束装置的特征在于，具有被控制为低真空(1Pa～3000Pa)的样品室，上述检测器包括：具有对至少一个以上的电极施加了+300～+500V的电压的阳极，利用配置在该阳极附近的光波导(光波导路)检测具有图像信息的光，利用与光波导耦合的光电倍增管将光转换成光电子并放大后，形成图像并能够进行观察的控制部；以及作为电流信号，从与上述电极不同电位的其他电极检测具有图像信息的离子电流，并形成图像的控制部。